반도체

엑시머 레이저(Excimer Laser)는 자외선(UV) 영역에서 빛을 방출하는 특수한 레이저로, "엑시머"라는 불안정한 이합체(excited dimer)를 사용하여 빛을 발생. 주로 아르곤-플루오린(ArF), 크립톤-플루오린(KrF) 등의 가스를 사용하며, 짧은 파장