SEMI와 SECS 프로토콜

SEMI란?

SEMI(Semiconductor equipment and Materials International) → 국제 반도체 장비 재료 협회

반도체 제조를위한 8대공정 거치는데, 공정들에 사용되는 장비는 매우 정밀하고 고가이기 때문에 자동화 및 통신 표준이 필요합니다.

효율적인 반도체 생산을 위해 장비와 중앙 제어 시스템(HOST)간의 네트워크 표준을 만든것이 SEMI Standard(표준)입니다.

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주요 SEMI 표준

E4, E5, E37은 설비 간의 데이터 통신을 담당하는 표준 규약
E30(GEM)은 그 위에서 작동하는 운영/자동화 표준

• SEMI E4 - RS-232C 기반의 시리얼 통신 프로토콜(SECS-I)
• SEMI E5 - 장비 간 주고받는 논리적 메시지 포맷 정의(SECS-II)
• SEMI E37 - TCP/IP 기반의 고속 통신 프로토콜, SECS-I를 대체(HSMS)
• SEMI E30 - 장비 제어를 위한 명령/이벤트/데이터 규약(SECS 위에서 동작)(GEM)

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SECS(SEMI Equipment Communications Standard)

SECS(SEMI Equipment Communications Standard)는 반도체 장비와 공정 제어 시스템(HOST) 간 통신을 위한 표준 프로토콜입니다.

메시지 전송 표준인 SECS-I, HSMS 와
메시지 내용 표준인 SECS-II로 구성되어 있습니다.

SECS-I

RS-232케이블

RS-232 케이블을 이용한 시리얼 통신입니다.

출시 당시 가장 많이 사용하던 통신 방식이라 적용했다고 하는 데, TCP/IP 기반의 HSMS를 주로 사용하는 추세라 많이 사용하지 않는다고 합니다.

HSMS(High-Speed Message Service)

반도체 장비와 호스트 시스템 사이에서 데이터를 주고 받기 위한 현대식 통신 방식으로, 기존 SECS-I 의 시리얼 통신 기반에서 TCP/IP로 변경되었습니다.

HSMS 더 알아보기

SECS-II

메시지 전송 표준이 데이터를 어떻게 주고받을지에 대한 표준이라면
메시지 내용 표준은 “어떤 메시지를 주고받을지” 에 대한 내용을 정의한것입니다.

SECS-I 나 HSMS 위에서 메시지 형식을 정의한 것으로
예를 들면

• S1F1 → “장비야, 살아있냐?”
• S1F2 → “응, 나 여기 있어”

입니다.

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