0418
도쿄일렉트론, 고발열 칩 테스트 혁신…첨단 패키징 프로버 '프렉사 SDP' 출시
KGD?
KGD는 Known Good Die의 줄임말로, “패키징하기 전에 이미 검증된 정상 칩”을 의미한다.
요즘 AI/HPC 칩은 2.5D·3D 패키징처럼 여러 개 칩을 하나로 묶어서 쓰는데, 이때 불량 칩 하나라도 섞이면 전체 패키지가 다 망가진다.
그래서 조립 전에 개별 칩을 하나씩 검사해서 “이건 확실히 정상이다”라고 보장된 것만 쓰는 과정이 KGD 선별이다.
플라텍, 램리서치 반도체 부품 특허 무효화 실패
식각 공정 장비 내 전극을 고정하는 ‘전극 클램프’ 기술로 공정 안정성?
식각 공정에서 말하는 “전극 클램프”는 플라즈마를 만드는 전극을 정확한 위치에 단단히 고정해주는 부품/기술이다. 식각은 웨이퍼 위를 플라즈마로 깎는 공정인데, 이 플라즈마는 전극에 전압을 걸어 만들어진다. 따라서 전극의 위치, 간격, 접촉 상태가 조금만 흔들려도 플라즈마 밀도나 전기장이 달라져서 식각 속도, 균일도, 패턴 정밀도가 바로 흔들린다.
