수율(Yield)

• 수율
  • 결함이 없는 합격품의 비율
  • 웨이퍼 한 장에 설계된 최대 칩(IC)의 개수 대비 실제 생산된 정상 칩의 개수를 백분율로 나타낸 것
  • 불량률의 반대말
  • 투입한 양 대비 제조되어 나온 양의 비율

• 수율이 높을수록 생산성이 향상됨
  • 반도체 산업에서는 수율을 높이는 것이 중요

• 문제
  • 미세회로로 구성되는 반도체
    • 공정 중 어느 한 부분의 결함이나 문제점이 제품에 치명적인 영향을 미친다

• 높은 수율을 위한 조건
  • 공정 장비의 정확도
  • 클린룸의 청정도
  • 공정조건

출처: 삼성 반도체 이야기