@FDC @CNN @Semiconductor Manufacturing Process반도체 제조 공정을 위한 FDC(Fault Detection and Classification) 분야에서는 센서 신호를 이용한 제조 결과 예측에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 그
Semiconductor manufacturing tools are highly sophisticated process/metrology systems that consist of multiple interacting clusters or modules operati