용액 교체 가이드

Taro·2026년 7월 8일

DC

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용액 위치

FC 라인

  • GST204의 경우 공드럼 반납,수령만 하고 용액교체는 협력사가 진행
  • 용액 교체시 LOTCARD 번호 적어둘것

1 EASY WORKS 작성

ASE FROUNT -> MFC ONLINE -> EASY WORKS

GI Resquest By Inventory 들어가기


입력하고 Query 누르기 -> 200L 누르고 Request 누르기

COMMENT : 날짜/층/ASE/장비명
QTV : 200당 1개
입력 후 EXECUTE 누르기

1-1 History에서 등록 내역 확인하기

2 APDS 작성

경로 : P.M -> Pre_Assy -> SMT -> DEFLUX -> chemical change rog
1. Eqp : 바꾼 장비명으로 검색 ex) FC007 / GST200
2. 입력 버튼 클릭

  • 만료일 : 260515-B (랏카드) -> 270514-B (1년 더하고 1일 빼기)

3 메일 보내기

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